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自动探针台

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自动探针台

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制造厂商: TSK 仪器编码: G-S-264 生产国别: 日本 分类编码: 040599 购置日期: 2011-03-31 规格型号: UF3000EX-e
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详细信息与指标

功能/应用范围 300mm测试探针台,最大工作误差小于2um,用于每片12英寸晶圆上的各个芯片的电信号的检测来保证半导体产品的品质。
主要附件 HF翻转系统
主要技术指标 最大晶圆300mm,最大误差2um,平台承重200kg,先进的光学识别系统
技术特色 "OTS?D最新的定位技术(光学定位),S通过照相机对相关位置的测量来来保证绝对的精度,OTS成为自我相关的对准光学系统。  QPU?D极高刚性的承载台(四支点系统),采用新的技术使用4个轴驱动Z轴移动(QPU),实现高刚性,高稳定的探针接触。 提供令客户满意的公共平台8英寸及12英寸从前部的搬送平台。设备并完全符合美国物料搬送协会的标准。 TTF(点那里移动到那里) 追求更好的操作性,采用了新的功能,在这个显示屏显示的范围内,点到任何的区域,承载台就移动到该区域,设置非常的简单,屏幕显示菜单的项目由客户"
服务实例

服务信息

  • 上年对外服务(机时):4403小时
  • 接待时间(工作日):9:00-17:00
  • 收费标准(元/样品):150元/小时
  • 仪器联系人:王锦
  • 联系电话:021-50271583
  • 电子邮箱:wjhl@sinoctest.com.cn
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