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聚焦离子束

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仪器类型: 工艺实验设备 仪器型号: FIB 800 制造厂商: FEI 价格: 1625元/Hr
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详细信息与指标

标题 内容
功能/应用范围 1.Circuit Secondary Repair/Modify 2.Cross-Section 3.Failure/Structure Analysis 4.TM case sample fabrication
主要附件 1.UPS 2. TURBO PUMP
主要技术指标 A,电压:Vacc:0.5~30KV Vext:0~6.5KV B,分辨率:5nm at 25KeV C, 放大倍率:200~15000倍D,可观察范围:x:0~25mm;y:0~25mm;z:5~30mm
技术特色 a) Deposition→ SiO2 for isolation; Pt/W forconducting.b) Line cutting→Al Line/ Gold Wire/ CopperLine/ Poly layer.c) Sample type→Chip or Wafer( 8”wafer/800,6”wafer/9500) available.d) Process→CL90 Cu Process/Top metal.e) Layout location→ GDS file.
服务实例

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联系人 鲁宁
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