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IC芯片线路缺陷检测仪

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仪器类型: 分析仪器 仪器型号: uPhemos-200 制造厂商: HAMAMATSU 价格: 1950
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详细信息与指标

标题 内容
功能/应用范围 OBIRCH可用于IC芯片内部高阻抗及低阻抗分析, 线路漏电路径分析。利用OBIRCH方法,可以有效地对芯片线路中的缺陷进行检测定位,如线路线条中的空洞、通孔下的空洞、通孔底部高阻区等;也能有效的检测短路或漏电,是发光显微技术的有力补充。
主要附件
主要技术指标
技术特色 用激光束在IC芯片或其它电子元器件表面扫描,激光束的部分能量转化为热量。如果互连线中存在缺陷就会有空洞,这些区域附近的热量传导不同于其他的完整区域,将引起局部温度变化,从而引起电阻值改变ΔR,如果对互连线施加恒定电压,则表现为电流变化ΔI=(ΔR/V)I2,通过此关系,将热能引起的电阻变化和电流变化联系起来。将电流变化的大小与所成像的像素亮度对应,像素的位置和电流发生变化时激光扫描到的位置相对应,这样就可以产生OBIRCH像来定位,从而得到芯片的缺陷位置所在。
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联系人 王岩
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联系传真 021-50793619
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