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单束聚集离子束显微镜

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仪器类型: 分析仪器 仪器型号: Micrion 9500 制造厂商: Micrion 价格: 2500
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详细信息与指标

标题 内容
功能/应用范围 主要采用集成电路设计过程中的电路修补,并可完成小区域纵向截面分析
主要附件
主要技术指标 分辨率4nm,最大可载入8inch wafer
技术特色 可承接>=40nm工艺制程的集成电路芯片的修补
服务实例

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联系人 张洁
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